PCVD-300等离子体化学气相沉积设备

项目名称:PCVD-300等离子体化学气相沉积设备
成果单位：中国科学院大连化学物理研究所
检索用关键词：PCVD-300 等离子体 化学气相沉积设备
专利状况：3
专利申请号：-
应用行业：D, G
技术领域：9
技术产品用途介绍：成果内容水平：
制备非晶硅太阳能电池，各种非晶硅膜、多晶态膜、钝化膜 、硬化膜 、金属膜及其它金属有机膜。处于国内领先水平。
主要技术指标：
真空度：掺杂室6